本站音书j9九游会，把柄企查查数据表露京仪装备（688652）新得回一项实用新式专利授权，专利名为“等离子废气治理组件及半导体废气治理建设”，专利请求号为CN202322316930.5，授权日为2024年5月3日。

专利摘录：本请求波及半导体废气治理时代边界，提供一种等离子废气治理组件及半导体废气治理建设。等离子废气治理组件，包括阴极，阴极处设有钨极；阳极，与阴极相对设立，阳极和阴极之间造成有电离空间；第一氮气运送件，设于阴极一侧，第一氮气运送件设有阻隔均匀的多个第一出气口，多个第一出气口均朝向电离空间，以使得第一氮气运送件可将氮气均匀的运送到电离空间处。把柄本请求推论例的等离子废气治理组件，终显著将氮气均匀的运送到电离空间处，保证了氮气均匀散播，氮气不错在阴极和阳极之间充分电离，确保了等离子体电离不发生偏离，使得钨极名义的损耗划痕散播均匀，蔓延了钨极的使用寿命。

本年以来京仪装备新得回专利授权22个，较前年同时增多了57.14%。纠合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面干涉了6151.18万元，同比增27.07%。

数据起原：企查查

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